FilmetricsF50光学薄膜厚度测量仪
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1、嵌入式在线诊断
2、免费离线分析软件
3、精细的历史数据功能,帮助用户有效的存储,重现与绘制测量结果
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自动化薄膜厚度绘图系统
依靠F50先进的光谱测量系统,可以很简单快速地获得zui大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台,确保
能够做成千上万次测量。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。
可测样品膜层基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:
氧化硅氮化硅类金刚石DLC
光刻胶聚合物聚亚酰胺
多晶硅非晶硅硅
相关应用
半导体制造液晶显示器
1、光刻胶?盒厚
2、氧化物?聚酰亚胺
3、氮化物?ITO
4、光学镀层生物医学
5、硬涂层?聚对二甲苯
6、抗反射层?生物膜
7、滤光器?消化纤维
光学薄膜厚度测量仪
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光学薄膜厚度测量仪